上海睿丹自動(dòng)化儀表有限公司MFC維修校準服務(wù)可以修復半導體行業(yè)的主要品牌MFC，包括MKS、Brooks、Unit,Mykrolis、Pall、Fujinkin等 對于Cl2和Br2 MFC，我們建議客戶(hù)更換新的，我們也可以提供1對1的交換服務(wù)。 品牌 型號 Brooks(Unit) GFC...

ALICAT 手持式大氣采樣流量校準儀66系列，采用內部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動(dòng)。內置大氣壓傳感器和外置溫度探頭對當前大氣壓和環(huán)境溫度進(jìn)行精確瞬間測量，專(zhuān)門(mén)針對環(huán)保法規要求設計。ALICAT 66系列手持式大氣采樣流量校準儀，可現場(chǎng)顯示當前大氣壓、溫度、濕度、體積流量和質(zhì)量流量，主要用于大氣顆粒物校準儀采集器流量的定期校準，方便快捷。

ALICAT 便攜式高壓氣體質(zhì)量流量計62Q系列，這款多功能62Q系列便攜式高壓氣體質(zhì)量流量計可縮短檢定或驗證高壓（160-320 psia）條件下運行流量所需時(shí)間，還能夠瞬間提供多種氣體的實(shí)時(shí)讀數，從而縮短停機時(shí)間和過(guò)程中斷時(shí)間。

ALICAT 氣體質(zhì)量流量計-便攜式-低壓損型62W/62AW系列采用內部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動(dòng)。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶(hù)標準工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準證書(shū)。 可用于快速精確地測量過(guò)程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，用于現場(chǎng)多種流量校準和檢測場(chǎng)合，超低壓損更加適用于要求苛刻的環(huán)保檢測行業(yè)。

ALICAT 氣體質(zhì)量流量計-便攜式62/62A系列，采用內部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動(dòng)。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶(hù)標準工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準證書(shū)。 可用于快速精確地測量過(guò)程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，更方便用于現場(chǎng)多種流量校準和檢測場(chǎng)合。

ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器01系列，采用了熱帖片式原理，而且克服了熱式對于預熱時(shí)間的要求，01系列的預熱時(shí)間僅需要70ms，且保證了流量控制的穩定性和精確度。01系列測量和控制范圍高達0.5 ~ 100%，可以滿(mǎn)足更多的客戶(hù)流量控制應用場(chǎng)合。 材質(zhì)上，01系列采用了316不銹鋼主體，FKM密封，并具備較強的抗振動(dòng)性能。

ALICAT 截止閥質(zhì)量流量計控制器21VS系列，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動(dòng)。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準證書(shū)。Alicat的21VS系列數字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測量并控制腐蝕性氣體(如NH3、H2S、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度。

ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器21V系列，采用內部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動(dòng)。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶(hù)標準工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準證書(shū)。Alicat的21V系列數字式質(zhì)量流量控制器是專(zhuān)為需要緊密關(guān)閉應用而設計的，如真空鍍膜和濺射過(guò)程等。

ALICAT 高壓氣體質(zhì)量流量控制器21Q系列氣體質(zhì)量流量控制器，同我們的標準控制器一樣，能對需要較高管線(xiàn)壓力（160-320 PSI絕壓）的應用環(huán)境進(jìn)行快速控制響應。這款高壓應用質(zhì)量流量控制器可快速達到新的設定值，并保持該設定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據您的應用參數為您定制閥門(mén)和PID調節功能，確保相關(guān)產(chǎn)品能夠快速實(shí)現穩定控制。

ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-耐腐蝕型21S系列，采用內部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動(dòng)。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶(hù)標準工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準證書(shū)。 可用于快速精確地測量并控制腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、SiH4等）的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場(chǎng)合。